Electronic Pressure Control (EPC)
电子压力控制器（EPC）
2020165-001 EPC Module Complete with Manifold and Seals
完整的 EPC 模块，包括流路基座以及密封件
Maxum I or II (s)
Maxum I 或 II
2015950-001 ^ Install package, EPC module, with gaskets
^ 安装包， EPC 模块，包括垫片
1291510-004 ^ Fitting, ferrule, 1/16T, vespel / graphite, Valco
^ 接口组件，卡套， 1/16T， vespel / 石墨， Valco
1291509-003 ^ Fitting, nut, 1/16T, stainless steel
^ 接口螺母，适用于 1/16 管，不锈钢
2020334-001 Restrictor, Hydrogen coil, 210 cc/min
螺旋形氢气气阻， 210cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020334-002 Restrictor, Hydrogen coil, 420 cc/min
螺旋形氢气气阻， 420cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020334-003 Restrictor, Hydrogen, 420 cc/min
氢气气阻， 420cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
Solenoid Valve Control Module (SVCM)
电磁阀控制模块（SVCM）
2015960-002 SVCM Controller Board, Ver. 2 (Electronics only)
SVCM 控制器板，版本 2（仅为电子部分）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020166-001 Solenoid Valve Control Module with o-rings (no electronics)
SVCM，包括 O 型密封圈（不含电子器件）

2020297-001  2020299-001  

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2020355-001  2020355-002  

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