Electronic Pressure Control (EPC)

电子压力控制器（EPC）

2020165-001 EPC Module Complete with Manifold and Seals

完整的 EPC 模块，包括流路基座以及密封件

Maxum I or II (s)

Maxum I 或 II

2015950-001 ^ Install package, EPC module, with gaskets

^ 安装包， EPC 模块，包括垫片

1291510-004 ^ Fitting, ferrule, 1/16T, vespel / graphite, Valco

^ 接口组件，卡套， 1/16T， vespel / 石墨， Valco

1291509-003 ^ Fitting, nut, 1/16T, stainless steel

^ 接口螺母，适用于 1/16 管，不锈钢

2020334-001 Restrictor, Hydrogen coil, 210 cc/min

螺旋形氢气气阻， 210cc/min

Maxum I or II

Maxum I 或 II

2020334-002 Restrictor, Hydrogen coil, 420 cc/min

螺旋形氢气气阻， 420cc/min

Maxum I or II

Maxum I 或 II

2020334-003 Restrictor, Hydrogen, 420 cc/min

氢气气阻， 420cc/min

Maxum I or II

Maxum I 或 II

Solenoid Valve Control Module (SVCM)

电磁阀控制模块（SVCM）

2015960-002 SVCM Controller Board, Ver. 2 (Electronics only)

SVCM 控制器板，版本 2（仅为电子部分）

Maxum I or II

Maxum I 或 II

2020166-001 Solenoid Valve Control Module with o-rings (no electronics)

SVCM，包括 O 型密封圈（不含电子器件）

Maxum I or II

Maxum I 或 II

1672013-001 ^ Valve assembly

^ 阀组件

1531006-002 ^ O-ring, size 006, Buna-N

^ O 型密封圈， 006 型，顺丁橡胶

1531006-003 ^ O-ring, size 008, Buna-N

^ O 型密封圈， 008 型，顺丁橡胶

1672102-001 ^ SVCM short cable, solenoids to original SVCM ctrlr board

^ SVCM 短接线，电磁阀到老式 SVCM 控制板

SMC SOLENOID PARTS AND MAXUM II TUBING MANIFOLDS

SMC 公司的电磁阀产品和 Maxum II 的接管流路基座

2022021-001 Solenoid Valve Replacement Kit (SMC)

电磁阀替换套件（日本 SMC 公司）

Maxum I or II

Maxum I 或 II

1672100-001 ^ Valve, 4-way, with gasket and screws, SMC

Maxum 用节流阀 420 cc/min